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                      半導體工業的廢氣有毒嗎,怎么處理好?

                        半導體指的是在常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的一種材料,主要應用于集成電路、消費電子、通信系統、光伏發電、照明、大功率電源轉換等領域,在半導體工業加工的過程中將會有部分的氣體排出,那半導體工業的廢氣有毒嗎,怎么處理好?

                      半導體工業廢氣,廢氣處理設備

                        半導體工業在加工的過程中會使用到光刻膠、蝕刻液、清洗劑、顯影劑等溶劑,而這些溶劑是含有大量的有機物成分,排放出來的廢氣含有HCl、氨、HF等危險污染物,而主要處理的是具有揮發性的VOCs。

                        溫馨提示:VOCs污染物為有機化合物,在濃度較高且有火花或靜電情況下,極易發生閃爆現象。

                        半導體在制造過程中一般的污染源包括顆粒污染物、金屬離子和化學物質等,而這些都是屬于有害的污染物。

                        半導體廢氣處理方法根據工業廢氣成分進行廢氣處理設備的選擇:

                        沸石轉輪吸附濃縮裝置:主要用于有機廢氣的治理, 特別適合于大風量,低濃度場合;

                        噴淋塔:對于含有酸性/堿性物質的廢氣 ,半導體廠封閉車間大都采用大型臥式洗滌塔進行廢氣處理。

                        TO直燃爐(催化燃燒裝置):對大風量、低濃度的VOCs廢氣,TO直燃爐一般會搭配沸石轉輪使用。

                        半導體工業廢氣是具有毒性的,不同的工業采用的工藝原材料不同,因此采用的廢氣處理設備以及工藝都是不一樣的,具體的解決方案可咨詢宏森環保的在線工程師。
                       

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